宜特检测二次离子质谱仪(SIMS)

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二次离子质谱仪(SIMS)

一般常见的表面材料成份分析仪器有欧杰电子显微镜AES、化学分析电子仪ESCA以及二次离子质谱仪SIMS。其中二次离
 子质谱仪具有高灵敏度的杂质侦测力，几乎对所有元素的侦测极限可达ppma(百万分之一原子密度)，对于部份元素的侦测极
 限甚至可达ppba (十亿分之一原子密度)，而被全方面的应用于半导体以及薄膜材料分析上。

SIMS分析优点：

侦测极限可达ppma甚至ppba

• 可侦测周期表上所有元素(H~U)

• 可区分同位素

• 纵深分辨率为10~20nm，相当佳可达2~5nm

• 可分析导电不良样品

• 藉由标准品以及RSF (Relative Sensitivity Factor)可作定量分析

SIMS应用很全方面，如侦测表面污染、氧化还原、吸附、腐蚀、触媒效应等动态分析研究，尤其可作微量元素分布，因此在材料、化学、物理、冶金及电子方面之发展被大量使用。SIMS不但可作表面及整体之分析，又可直接作影像观察，其灵敏度及解析能力甚高，周期表H~U元素均可侦测，尤其对同位素分析更是有效。

关于宜特：

jST始创于1994年的台湾，主要以提供集成电路行业可靠性验证、材料分析、失效分析、无线认证等技术服务。2002年进驻上海，全球现已有7座实验室12个服务据点，目前已然成为深具影响力之芯片验证第三方实验室。

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