对三坐标测量机的固定部分要求刚性好，受温度湿度影响的变形小（希望结构的变形只是线性，以易于软件补偿）、结构简单、成本低。
中小型桥式三坐标测量机的固定部分，特别是工作台大部件一般采用花岗石、钢或铸铁，较小的部件采用铝合金材料（电机支架，传动支架）；有时为了增加刚性采用整体结构（例如花岗石台面与导轨）。
花岗石整体结构的导轨及台面
大型龙门式测量机、水平臂测量机固定部分，大部分采用钢、铸铁或花岗石。
三坐标测量时改变基准的方法
进行有关零件的测量时，照理不应当对图纸或技术文件所规定的信息作任何计算或调整，但是在某些情况下，用欧潼三坐标测量机测量时，图纸或技术文件并没有清楚表示零件的某些特征相对基准的关系。这将是一个复杂的过程，某些带公差的尺寸需作改变，当作此种改变时要十分小心。
当改变基准面时应遵照下述步骤，它是一个复杂的问题，可以归纳如下：
1. 决定作基准的表面；
2. 决定所要求测量的尺寸 (可能也包含要省略某些尺寸)；
3. 决定每个新的要测量尺寸的公差；
4. 设置除一个以外的尺寸极限；
5. 决定尺寸的极限。
